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光刻膠低溫冷凍庫設(shè)計建造

發(fā)布日期:2022-12-30 來源:浩爽 作者:浩爽

  光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,特別是近年來大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,更是大大促進了光刻膠的研究開發(fā)和應(yīng)用。那么光刻膠存儲是怎么樣的呢?

光刻膠低溫冷凍庫設(shè)計建造

  光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。在光刻工藝過程中,用作抗腐蝕涂層材料。半導(dǎo)體材料在表面加工時,若采用適當(dāng)?shù)挠羞x擇性的光刻膠,可在表面上得到所需的圖像。光刻膠按其形成的圖像分類有正性、負(fù)性兩大類。在光刻膠工藝過程中,涂層曝光、顯影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下來,該涂層材料為正性光刻膠。如果曝光部分被保留下來,而未曝光被溶解,該涂層材料為負(fù)性光刻膠。按曝光光源和輻射源的不同,又分為紫外光刻膠(包括紫外正、負(fù)性光刻膠)、深紫外光刻膠、X-射線膠、電子束膠、離子束膠等。光刻膠主要應(yīng)用于顯示面板、集成電路和半導(dǎo)體分立器件等細(xì)微圖形加工作業(yè)。


  光刻膠對光敏感,在光照或高溫條件下其性能會發(fā)生變化。光刻膠在儲存過程中會老化,因此通常保存在防光的棕色玻璃試劑瓶中(部分電子束膠由于對紫外波段不感光,有可能直接使用白色塑料瓶包裝),冷藏保存,并且紫外光刻膠只能在黃光(λ>500 nm)下進行處理。通常一款光刻膠的失效日期和建議的存儲溫度會標(biāo)注產(chǎn)品標(biāo)簽上。如果保持在這些溫度下,未開封的光刻膠將穩(wěn)定到有效期(通常是生產(chǎn)后的2年,視產(chǎn)品不同略有不同)。通常光刻膠銷售時會有一個承諾有效日期,這個日期往往會小于瓶示質(zhì)保期。需要區(qū)分。


  溫度:對于絕大多數(shù)紫外光刻膠而言,通常建議的保存條件是5-10℃下保存(除制造商要求的特殊保存溫度外)。如果未打開的瓶子在低于佳溫度的條件下(例如,在5–8°C的溫度下與建議的10–18°C的溫度相比)存儲,則可以使一些光刻膠,在超過其有效期限外還可以保持光刻膠的特性并使用。


  如果頻繁打開光刻膠試劑瓶會導(dǎo)致溶劑蒸發(fā),光刻膠會增稠并因此產(chǎn)生較厚的膜。對于膜厚為1.4μm的光刻膠,僅損失1%的溶劑就已經(jīng)導(dǎo)致4%的膜厚,因此帶來的影響是需要更高的曝光劑量。所以建議按照實際使用的量進行購買相應(yīng)包裝規(guī)格的光刻膠。

光刻膠低溫冷凍庫設(shè)計建造

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